센서사업부
Equipment Business
EPC Sensor
세종기술(주)는 미래 먹거리 산업인 장비의 핵심 부품 제조 사업을 5년 이상의 투자를 통하여 준비하고 있습니다.
고기능 센서, 고기능 제어기 개발을 통하여 국내 자동화 장비 제조의 기술을 한단계 업그레이드 하겠습니다.
Edge 계측센서(레이저 평행광 타입)
MERCURY Series제품브로셔 다운로드

EPC MES07-FC(4CH)

특징

리니어 이미지 센서 방식

수광소자로 CMOS 센서를 사용하기 때문에, 수광소자로 PD를 사용한 타입에 비해 원리상 오염의 영향을 잘 받지않습니다. 오염으로 인해 전체 수광량이 저하되지만 측정위치의 변화가 없습니다. 오염 검출Alarm 기능을 사용하면 오염 정도 설정에 따라 Alarm 출력이 됩니다.

검출체Edge 무시기능

Edge 무시기능은 검출체의 가장자리에 전극 등의 Tab이 있는 경우 Tab에 대응해서 Analog 출력이 변화되는 것을 막기위해 Analog 출력을 Hold하는 기능입니다. 무시기능은 검출체Edge가 센서를 지나가는 시간과 무시하고자하는 크기를 설정하여 기능을 사용합니다.
· 지연시간: 0.5ms ~ 127ms
· 무시크기: 0 ~ 7mm ( 0 : 무시기능없음)

응용 예시

Film / Sheet 굴곡 및 폭 측정

센서헤드 2대로 센서 헤드간의 연산기능을 사용하여 굴곡 계측과 필름 폭 계측이 동시에 가능합니다.

Wafer 편심과 Notch 위치 계측

투명도가 높은 웨이퍼 글라스의 편심과 Notch 위치를 안정적으로 계측 가능합니다.

Film / Sheet 두께 측정

컨트롤러에 2개의 센서를 연결하여 롤러와 시트를 동시에 측정하여 정확한 두께 측정이 가능합니다.