EPC Sensor
Sejong Technology is preparing for the core part production business, which is the industry of the future, through over 5 years of investment.
We will upgrade the technology of automation equipment production in Korea through the development of high-function sensors and high-function controllers.
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边界计测传感器（激光平行光式）
MERCURY Series
EPC MES07-FC(4CH)
特征
线性图像传感器方式
由于使用CMOS传感器作为光接收元件，相比PD作为光接收元件，
原理上受污染的影响较小。
由于污染，接收到的总光量减少，但测量位置没有变化。
如果使用污染检测报警功能，则根据污染等级设置有报警输出。
检测体边缘忽略功能
边缘忽略功能是指当物体的边缘有电极等的标签时，
为预防模拟输出因为标签产生变化，用以稳定模拟输出的功能。
忽略功能通过设置感应体边缘经过传感器的时间和需要忽略的大小
来使用。
延长时间：0.5ms~127ms
忽略大小：0~7mm（0：无忽略功能）
应用范例
Film/Sheet挠曲和宽度测量
运用两个传感器头之间的运算功能， 同时测量挠曲和film宽度
Wafer偏心和Notch位置测量
稳定测量高透明度晶圆玻璃的偏心和Notch位置
Film/Sheet厚度测量
将两个传感器连接到控制器，可以同时测量roller和 Sheet,达到精确的厚度测量。
