EPC Sensor
세종기술(주)는 미래 먹거리 산업인 장비의 핵심 부품 제조 사업을 5년 이상의 투자를 통하여 준비하고 있습니다. 고기능 센서, 고기능 제어기 개발을 통하여 국내 자동화 장비 제조의 기술을 한단계 업그레이드 하겠습니다.
EPC Sensor 4CH
Edge 계측센서(레이저 평행광 타입)
MERCURY Series MES07-FC(4CH)
MERCURY Series MES07-FC(4CH)
| 항목 | 센서헤드 | 컨트롤러 |
|---|---|---|
| 모델명 | MES07-MLX | MES07-FC(4CH) |
| 측정폭 | 7mm | |
| 측정거리 | 10~300mm | |
| 측정간격 | 500㎲(2㎑/S) | |
| 이동정도 | ±20㎛ 이하 * ¹ | |
| 반복정도 | ±1㎛ 이하 * ² | |
| 사용온도 | 0 ~ 50 °C | |
| 사용및보관습도 | 30 ~ 85% RH | |
| 데이터표시 | - | CH별 4Digit FND X 4 |
| Event출력 | - | 싱크타입 트랜지스터출력 8 Output |
| 외부입력 | - | 4 Input |
| Analog출력 | - | 0~5V / ±5V / 0~10V / ±10V 선택 |
| 전원 | 5VDC±10% | 12 ~ 30VDC±10% |
| 재질 | Case:Aluminum, Lens:glass | Case:ABS |
| 광원 | 가시반도체 레이져:CLASS | 650mm | - |
| 외부통신 | RS422 | RS422 / CUNET / ETHERNET / CAN * ³ |
*1 : 투수광 간 거리=20㎜, WD=10㎜, 검출제 위치=측정 폭 중심에서 0.5㎜ 이동 시
*2 : 투수광 간 거리=20㎜, WD=10㎜, 검출제 위치=측정 폭 중심에서 3.5㎜에서 20회 평균 시
*3 : 옵션 보드 선택 시 가능
*2 : 투수광 간 거리=20㎜, WD=10㎜, 검출제 위치=측정 폭 중심에서 3.5㎜에서 20회 평균 시
*3 : 옵션 보드 선택 시 가능
리니어 이미지 센서 방식
수광 소자로 CMOS센서를 사용하기 때문에, 수광 소자로 PD를 사용한 타입에 비해 원리상 오염의 영향을 잘 받지 않습니다.
오염으로 인해 전체 수광량이 저하되지만 측정 위치의 변화가 없습니다.
오염 검출 Alarm 기능을 사용하면 오염 정도설정에 따라 Alarm 출력이 됩니다.
오염으로 인해 전체 수광량이 저하되지만 측정 위치의 변화가 없습니다.
오염 검출 Alarm 기능을 사용하면 오염 정도설정에 따라 Alarm 출력이 됩니다.
검출체 Edge 무시기능
Edge 무시 기능은 검출체의 가장 자리에전극등의 Tab이 있는 경우 Tab에 대응해서 Analog 출력이 변화되는 것을 막기 위해 Analog 출력을 Hold하는 기능입니다.
무시 기능은 검출체 Edge가 센서를 지나가는 시간과 무시 하고자 하는 크기를 설정하여 기능을 사용합니다.
지연시간 : 0.5ms ~ 127ms
무시 크기 : 0 ~ 7mm ( 0 : 무시기능 없음 )
무시 기능은 검출체 Edge가 센서를 지나가는 시간과 무시 하고자 하는 크기를 설정하여 기능을 사용합니다.
지연시간 : 0.5ms ~ 127ms
무시 크기 : 0 ~ 7mm ( 0 : 무시기능 없음 )
Film / Sheet 굴곡 및 폭 측정
센서 헤드 2대로 센서 헤드간의 연산기능을 사용하여 굴곡 계측과 필름 폭 계측이 동시에 가능합니다.
Wafer 편심과 Notch 위치 계측
투명도가 높은 웨이퍼 글라스의 편심과 Notch 위치를 안정적으로 계측 가능합니다.
Film / Sheet 두께 측정
컨트롤러에 2개의 센서를 연결하여 롤러와 시트를 동시에 측정하여 정확한 두께 측정이 가능합니다.
제품 구성도
외형 치수 - 센서헤드
외형 치수 - FND 4CH 컨트롤러
